a)產品概述
質量流量傳感器校準系統作為質量流量傳感器生產線終檢校準設備，用于小量程質量流量傳感器的通訊功能測試以及不同溫度下的校準，以保證產品質量及精度。
b)應用專利技術
本系統中以下技術正在申請實用新型或發明專利：
《批量傳感器固定可識別裝置》
《無繞線針床夾具》
《高密封閥組》
《一種多氣路連接器裝置》
c)系統功能
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主要功能 |
描 述 |
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用戶管理 |
管理用戶登錄及操作權限，按權限高低分為管理員、工程師、技術員、線長和操作員，管理員具有最高權限，可以添加、刪除和修改用戶信息； |
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工單操作 |
用于創建不同溫度下的工單任務，只有當前存在的工單被終止或完成時，才能創建下一個工單； |
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參數配置 |
用于工程師對校準或測試參數進行配置； |
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模式選擇 |
提供生產模式、工程師模式以及校驗模式共三種工作模式； |
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錯誤日志瀏覽 |
為用戶提供按時間查詢的錯誤日志瀏覽； |
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數據存儲 |
自動存儲測試過程數據。 |
d)特性詳解
兼容多種信號輸出類型的傳感器——
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信號類型 |
輸出方式 |
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模擬量 |
電壓信號 |
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數字量 |
IIC通訊信號 |
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SPI通訊信號 |
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PWM脈沖信號 |
溫度可控范圍寬，穩定性優異—— 可實現-20℃~100℃范圍內不同溫度點的精確控制，溫度控制精度為 1℃，目標溫度下的溫度波動度為 0.2℃；
良好的氣路密封性——采用鋼質氣管，采用少接頭設計，確保系統密封性。圖示是使用同一傳感器夾具進行5次（用不同顏色的曲線代表）泄漏測試時的泄漏率。（單位為sccm/s，測試壓力為2.5psi，保壓時間 20s，每個傳感器夾具包含4條氣路）
高測試校準精度——氣體流量控制精度達 1sccm，溫度控制精度 1℃。
高測試效率——系統可同時對32個被測件進行操作，8路總線并行的設計方法和溫度的快速穩定為Cycle Time節約了大量時間，達到160 DUTs/h，滿足生產線節拍的要求。
測試校準穩定可靠——GRR實驗數據良好。圖示為校準200sccm量程的傳感器時不同流量點下（50/100/160/200sccm）的GRR數據，均<10%。
便于維護——設計了專門的探針模塊用于從傳感獲信號點獲取信號，損壞時更該模塊即可；氣路裝拆方便；繼電器狀態通過指示燈顯示，指示直觀。
完善的安全機制——智能流程判斷；提供急停等安全操作機制，在系統出現突發狀況時對人及設備形成保護。
e)運行環境及系統指標
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項目 |
描述 |
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系統指標 |
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流量范圍 |
0~1000sccm/0~200sccm可選 |
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節拍 |
160件/小時，32件并行測試 |
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物理尺寸 |
溫控箱外形尺寸：2300 1430 1960mm |
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熱流機外形尺寸： 610 991 1303mm(Max.) |
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運行環境 |
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運行環境 |
溫度：0~50℃；濕度：35%~80%； |
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供電要求 |
AC 220V，50Hz |
校準平臺、熱流機供電 |
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AC 380V，50Hz |
溫控箱供電 |
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供氣要求 |
2.0bar |
校準供氣，干燥、純凈的氮氣 |
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5.0bar |
氣缸供氣，干燥的壓縮空氣 |
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90~100psi |
熱流機供氣，干燥的壓縮空氣 |
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