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a)產品概述

質量流量傳感器校準系統作為質量流量傳感器生產線終檢校準設備，用于小量程質量流量傳感器的通訊功能測試以及不同溫度下的校準，以保證產品質量及精度。

b)應用專利技術

本系統中以下技術正在申請實用新型或發明專利：

《批量傳感器固定可識別裝置》
《無繞線針床夾具》
《高密封閥組》
《一種多氣路連接器裝置》

c)系統功能

d)特性詳解 

• 兼容多種信號輸出類型的傳感器——

   

  信號類型	輸出方式
  模擬量	電壓信號
  數字量	IIC通訊信號
  	SPI通訊信號
  	PWM脈沖信號

   

• 溫度可控范圍寬，穩定性優異——可實現-20℃~100℃范圍內不同溫度點的精確控制，溫度控制精度為 1℃，目標溫度下的溫度波動度為 0.2℃；

• 良好的氣路密封性——采用鋼質氣管，采用少接頭設計，確保系統密封性。圖示是使用同一傳感器夾具進行5次（用不同顏色的曲線代表）泄漏測試時的泄漏率。（單位為sccm/s，測試壓力為2.5psi，保壓時間 20s，每個傳感器夾具包含4條氣路）

• 高測試校準精度——氣體流量控制精度達 1sccm，溫度控制精度 1℃。

• 高測試效率——系統可同時對32個被測件進行操作，8路總線并行的設計方法和溫度的快速穩定為Cycle Time節約了大量時間，達到160 DUTs/h，滿足生產線節拍的要求。

   測試校準穩定可靠——GRR實驗數據良好。圖示為校準200sccm量程的傳感器時不同流量點下（50/100/160/200sccm）的GRR數據，均<10%。

• 便于維護——設計了專門的探針模塊用于從傳感獲信號點獲取信號，損壞時更該模塊即可；氣路裝拆方便；繼電器狀態通過指示燈顯示，指示直觀。

• 完善的安全機制——智能流程判斷；提供急停等安全操作機制，在系統出現突發狀況時對人及設備形成保護。